所属分类：真空等离子清洗机
真空等离子镀膜机(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)，是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。
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